Propriedades Estruturais e Ópticas de Filmes Finos a-C:H:Cl Obtidos por Deposição a Vapor Químico Assistido por Plasma e Deposição e Implantação Iônica por Imersão em Plasma

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Rafael Gustavo Turri
Data de Publicação: 2011
Tipo de documento: Dissertação
Título da fonte: Portal de Dados Abertos da CAPES
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