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Estudo e desenvolvimento de uma tecnologia CMOS-TFT à baixa temperatura (< 600ºC).
Por
Viana, Carlos Eduardo
Publicado em 2002
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Tese
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Instituição de defesa
Universidade de São Paulo (USP)
1
Bases coletadas
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
1
Autor
Viana, Carlos Eduardo
1
Tipo de documento
Tese
1
Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Português
1
Assunto
Filmes finos
1
Microelectronics processes
1
Processos de microeletrônica
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Silicon
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