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Zinc
nitride
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Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio.
Por
Damiani, Larissa Rodrigues
Publicado em 2015
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Tese
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Instituição de defesa
Universidade de São Paulo (USP)
1
Bases coletadas
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
1
Autor
Damiani, Larissa Rodrigues
1
Tipo de documento
Tese
1
Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Português
1
Assunto
Filmes finos
1
Nitreto de zinco
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Processos de microeletrônica
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