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Assuntos:
“...Triode Magnetron Sputtering...”
Propriedades mecânicas e adesivas de filmes finos gradados funcionalmente de TiN, obtidos por Triodo Magnetron Sputtering.
Tese
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Assuntos:
“...Triode magnetron sputtering...”
Medição de tensões residuais em filmes finos durante o processo de deposição.
Dissertação