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1
Deposição e caracterização de filmes finos TaA1N por magnetron sputtering reativo
Por
Oliveira, Givanilson Brito de
Publicado em 2017
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Dissertação
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Instituição de defesa
Universidade Federal de Sergipe (UFS)
1
Bases coletadas
Repositório Institucional da UFS
1
Programa de Pós-Graduação
Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais
1
Autor
Oliveira, Givanilson Brito de
1
Orientador(a)
Tentardini, Eduardo Kirinus
1
Tipo de documento
Dissertação
1
Tipo de acesso
openAccess
1
Idioma
Português
1
Assunto
Compostos de tântalo
1
Engenharia de materiais
1
Filmes finos
1
Magnetron sputtering
1
Nitretos de tântalo
1
TaA1N
1
Assunto em inglês
Magnetron sputtering reativo
1
Reactive magnetron sputtering
1
Thin films
1
Área do conhecimento CNPq
ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA
1
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