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Assuntos:
“...Simulação de plasma...”
Estudo de uma descarga de radiofreqüência capacitiva de oxigênio a baixa pressão.
Dissertação
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Assuntos:
“...Simulação de plasma...”
Estudos de plasmas fluorados aplicados em corrosão de silício usando simulação de modelo global e diagnósticos experimentais.
Tese
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Assuntos:
“...Simulação de plasma...”
Caracterização de plasmas fluorados em reatores RIE e HCRIE para corrosão de silício
Tese