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1
Estudo e produção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) pela técnica de PECVD.
Por
Souza, Denise Criado Pereira de
Publicado em 2003
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Dissertação
2
Efeito do tratamento de oxidação a plasma na produção de uma bicamada SiOx/SiOxCyHz
Por
Ribeiro, Rafael Parra
Publicado em 2017
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Dissertação
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Universidade Estadual Paulista (UNESP)
1
Universidade de São Paulo (USP)
1
Bases coletadas
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
1
Repositório Institucional da UNESP
1
Autor
Ribeiro, Rafael Parra
1
Souza, Denise Criado Pereira de
1
Tipo de documento
Dissertação
2
Tipo de acesso
openAccess
2
Idioma
Português
2
Assunto
PECVD
2
Aço carbono
1
Carbon steel
1
Corrosion resistance
1
Oxidação a plasma
1
Plasma oxidation
1
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Resistência à corrosão
1
SiOx
1
SiOxCyHz
1
SiOxNy
1
oxinitreto de silício
1
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