1
Assuntos:
“...MOS capacitor...”
Caracterização elétrica de oxinitretos de silício ultrafinos para porta PMOS obtidos por implantação de nitrogênio na estrutura Si-poli/SiO2/Si.
Dissertação
2
Assuntos:
“...MOS Capacitor...”
Estudo e fabricação de capacitores MOS com camada isolante de SiOxNy depositada por PECVD.
Dissertação
3
Assuntos:
“...MOS capacitor...”
Caracterização elétrica de capacitores obtidos através de tecnologia ultra-submicrométrica.
Dissertação