Dantas, M. O. d. S. (2003). Obtenção de microestruturas de silício utilizando a tecnologia do silício poroso como camada sacrificial.
Referência de acordo com a norma ChicagoDantas, Michel Oliveira da Silva. Obtenção De Microestruturas De Silício Utilizando a Tecnologia Do Silício Poroso Como Camada Sacrificial. 2003.
Referência de acordo com a norma MLADantas, Michel Oliveira da Silva. Obtenção De Microestruturas De Silício Utilizando a Tecnologia Do Silício Poroso Como Camada Sacrificial. 2003.
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