Pelegrini, M. V. (2010). Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS.
Referência de acordo com a norma ChicagoPelegrini, Marcus Vinícius. Estudo De Materiais Piezoelétricos Da Família III-V Obtidos Por Sputtering Reativo Visando Sua Aplicação Em Sensores E MEMS. 2010.
Referência de acordo com a norma MLAPelegrini, Marcus Vinícius. Estudo De Materiais Piezoelétricos Da Família III-V Obtidos Por Sputtering Reativo Visando Sua Aplicação Em Sensores E MEMS. 2010.
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