Elementos piezoresistivos para sensores de pressão com tecnologia CMOS. - Rasia, Luiz Antonio (1997)
O presente trabalho visa fornecer as bases para o projeto e a caracterização de piezoresistores de silício que podem ser empregados na fabricação de sensores de pressão piezoresistivos integrados, que incorporam em um mesmo chip tanto o elemento sensível como o elemento transdutor, usando a tecnologia CMOS de 1,2 \'mü\'m e pós-processamento. O estudo realizado possibilitou entender o efeito piezoresistivo no Si e algumas características elétricas e térmicas, através da caracterização experimental de piezoresistores construídos com silício mono e policristalino, fornecendo parâmetros de engenharia adequados ao projeto de sensores de pressão e que poderão ser empregados para a fabricação em escala industrial. O uso da tecnologia padrão de circuitos integrados através de uma \"foundry\" permite fabricar \"gauges\" que, adequadamente posicionados em uma fina membrana obtida por corrosão anisotrópica, convertem o esforço mecânico aplicado em uma variação da resistência elétrica. Pode-se obter informações em termos do comportamento das propriedades elétricas, térmicas, mecânicas e dos efeitos cruzados nos elementos piezoresistivos, o que possibilita incorporar grandes melhorias funcionais aos sensores de pressão que venham a ser fabricados com silício.