Torres, A. S. (2002). Deposição química a vapor de óxido de silício assistida por plasma de alta densidade acoplado indutivamente (ICP-CVD).
Referência de acordo com a norma ChicagoTorres, Ani Sobral. Deposição Química a Vapor De óxido De Silício Assistida Por Plasma De Alta Densidade Acoplado Indutivamente (ICP-CVD). 2002.
Referência de acordo com a norma MLATorres, Ani Sobral. Deposição Química a Vapor De óxido De Silício Assistida Por Plasma De Alta Densidade Acoplado Indutivamente (ICP-CVD). 2002.
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