Obtenção da rugosidade RMS de superfícies recobertas com ouro e alumínio utilizando a técnica de espalhamento de luz laser HeNe. - Souza Filho, Jose Candido de (1997)
Neste trabalho foram obtidas a rugosidade média quadrática (RMS) e as alturas de degraus em superfícies de ouro e alumínio através da técnica de espalhamento de luz por resolução em ângulo (ARS). Esta técnica baseia-se na medida da luz espalhada de forma difusa numa superfície iluminada por um feixe de LASER HeNe em incidência oblíqua (60 graus). A luz espalhada é medida como função do ângulo de espalhamento utilizando uma fotomultiplicadora como detetor direcionada sempre para um pontofixo da superfície. Para este trabalho, foram definidos perfis trapezoidais bem conhecidos em superfícies de lâminas de silício utilizando um processo de fotolitografia convencional e em seguida, estas mesmas superfícies foram recobertas comcamadas finas evaporadas de ouro ou alumínio (= 20 nm). A luz espalhada (difratada) destas superfícies foi medida através da técnica ARS implementada em um equipamento construído no LSI/PEE/EPUSP. Como resultado destas medidas e baseado na teoria de espalhamento de luz, foi proposta uma metodologia de calibração a fim de realizar medidas quantitativas de rugosidade RMS e alturas de degrau sobre superfícies. Assim , o fator de calibração foi obtido (\'5.95.10 POT.7\') e foi então utilizado para determinar o valor da rugosidade RMS para outros tipos perfis superficiais.