Oliveira, R. A. R. d. (2022). Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas.
Referência de acordo com a norma ChicagoOliveira, Ricardo Aparecido Rodrigues de. Desenvolvimento De Microaquecedores MEMS, Para Deposição De Filmes Finos, Pela Técnica LPCVD, Em áreas Micrométricas. 2022.
Referência de acordo com a norma MLAOliveira, Ricardo Aparecido Rodrigues de. Desenvolvimento De Microaquecedores MEMS, Para Deposição De Filmes Finos, Pela Técnica LPCVD, Em áreas Micrométricas. 2022.
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