Estudo teórico-experimental da técnica SoG (Spin-on-Glass) - Zaia, Gilberto Vitor (1994)
A planarização superficial em processos com multiníveis metálicos, em tecnologias de alta densidade de integração, tem sido um requisito necessário e importante no processamento de circuito integrado. Dentre os vários processos de planarização, as técnicas que utilizam SOG (Spin-On-Glass) possuem maior simplicidade de processamento. Com o objetivo de estabelecer condições para utilização da técnica, foram feitos ensaios experimentais com 4 tipos distintos de SOG disponíveis comercialmente. As principais características físicas, químicas, mecânicas e elétricas foram estudadas, objetivando-se a aplicação dos materiais na suavização e planarização topográfica. Procurou-se enfatizar as técnicas que resultassem em aplicações possíveis de acordo com os limites da infra-estrutura de nosso laboratório. Os resultados obtidos comprovam a eficiência do SOG na planarização superficial, perfeita compatibilidade com os processos MOS e propriedades elétricas satisfatórias como isolantes intermetálicos.