Construção e caracterização de um equipamento de corrosão por plasma e sua aplicação na corrosão de SiO². - Seabra, Antonio Carlos (1990)
Este trabalho apresenta uma metodologia para o projeto e construção de um equipamento de corrosão por plasma na configuração RIE. Um estudo detalhado da técnica de corrosão por plasma foi realizado para permitir a análise detalhada das características das configurações (equipamentos) existentes. Um estudo da corrosão a seco de SiO² crescido termicamente foi realizado utilizando-se cf/sub/4 e cf/sub/4+h/sub/2 como gases de processo para comprovar a viabilidade do equipamento construído. Este estudo foi aplicado na obtenção de espaçadores para estruturas salicide. Os resultados obtidos comprovam a adequação da metodologia de projeto empregada e a viabilidade do equipamento desenvolvido. Suas características encontram-se dentro da faixa encontrada em literatura para equipamentos de concepção semelhante.