Souza, D. C. P. d. (2003). Estudo e produção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) pela técnica de PECVD.
Referência de acordo com a norma ChicagoSouza, Denise Criado Pereira de. Estudo E Produção De Filmes De Oxinitreto De Silício (SiOxNy) Pela Técnica De PECVD. 2003.
Referência de acordo com a norma MLASouza, Denise Criado Pereira de. Estudo E Produção De Filmes De Oxinitreto De Silício (SiOxNy) Pela Técnica De PECVD. 2003.
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