Nunes, A. M. (2005). Corrosão por plasma de filmes de silicio policristalino e nitreto de silicio para tecnologia MEMS e CMOS.
Referência de acordo com a norma ChicagoNunes, Alcinei Moura. Corrosão Por Plasma De Filmes De Silicio Policristalino E Nitreto De Silicio Para Tecnologia MEMS E CMOS. 2005.
Referência de acordo com a norma MLANunes, Alcinei Moura. Corrosão Por Plasma De Filmes De Silicio Policristalino E Nitreto De Silicio Para Tecnologia MEMS E CMOS. 2005.
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