Nunes, A. M. (2012). Aplicações de corrosão por plasma usando reatores ICP e RIE para tecnologia MEMS.
Referência de acordo com a norma ChicagoNunes, Alcinei Moura. Aplicações De Corrosão Por Plasma Usando Reatores ICP E RIE Para Tecnologia MEMS. 2012.
Referência de acordo com a norma MLANunes, Alcinei Moura. Aplicações De Corrosão Por Plasma Usando Reatores ICP E RIE Para Tecnologia MEMS. 2012.
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