Silva, N. C. d. (1999). Nova tecnologia de obtenção de feixe de ions de erbio com implantador de media corrente utilizado em microeletronica.
Referência de acordo com a norma ChicagoSilva, Nelmo Cyriaco da. Nova Tecnologia De Obtenção De Feixe De Ions De Erbio Com Implantador De Media Corrente Utilizado Em Microeletronica. 1999.
Referência de acordo com a norma MLASilva, Nelmo Cyriaco da. Nova Tecnologia De Obtenção De Feixe De Ions De Erbio Com Implantador De Media Corrente Utilizado Em Microeletronica. 1999.
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