Santos, M. V. P. d. (2013). Desenvolvimento de processos de obtenção nanofios de silício para dispositivos MOS 3D utilizando feixe de íons focalizados e litografia por feixe de elétrons.
Referência de acordo com a norma ChicagoSantos, Marcos Vinicius Puydinger dos. Desenvolvimento De Processos De Obtenção Nanofios De Silício Para Dispositivos MOS 3D Utilizando Feixe De íons Focalizados E Litografia Por Feixe De Elétrons. 2013.
Referência de acordo com a norma MLASantos, Marcos Vinicius Puydinger dos. Desenvolvimento De Processos De Obtenção Nanofios De Silício Para Dispositivos MOS 3D Utilizando Feixe De íons Focalizados E Litografia Por Feixe De Elétrons. 2013.
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