[pt] IMPLEMENTAÇÃO E VALIDAÇÃO DE MÉTODO COMPARATIVO DE CALIBRAÇÃO DE SISTEMA DE MEDIÇÃO LINEAR POR INTERFEROMETRIA LASER - WELLINGTON SANTOS BARROS (2003)
[pt] O presente trabalho tem por objetivo implantar um método para calibração de sistema de medição linear por interferometria laser por meio de comparação a um outro sistema laser de referência. O referido método é considerado mais simples que a calibração por componentes realizada atualmente e, conforme demonstrado no trabalho, apresenta confiabilidade metrológica que atende a exatidão necessária para as aplicações dos laseres em metrologia dimensional, vindo suprir uma necessidade metrológica dos laboratórios credenciados pelo Instituto Nacional de Metrologia, Normalização e Qualidade Industrial (Inmetro) e do parque industrial brasileiro, usuários destes sistemas de medição. A implantação do sistema para calibração de lasers de medição foi baseada em normas internacionais de calibração e de cálculo da incerteza de medição e utilizou um sistema laser de referência calibrado no Inmetro, com rastreabilidade a padrões nacionais, com as menores incertezas possíveis. O método de medição implantado realiza a calibração de um sistema laser por comparação a outro utilizando medições feitas a partir do deslocamento da mesa onde é a apoiado o prisma óptico. O que é de fato analisado é a diferença das medições dos dois sistemas laser para um mesmo deslocamento. Foram registradas as diferenças das indicações de 200 mm em 200 mm de deslocamento, em um total de 2000 mm, que variaram de 0,027 µm a 0,690 µm. Foram realizadas três medições para cada deslocamento e quatro repetições completas do procedimento em dias diferentes, com variação do desvio padrão de 0,009 µm a 0,098 µm e incertezas expandidas que variaram de 0,109 µm a 0,306 µm. São apresentadas a metodologia de calibração, cálculos das correções, fontes de erros e cálculos da incerteza de medição para a comparação de sistemas laseres de medição linear.