Referência de acordo com a norma APA

Tezani, L. L. (2015). Caracterização de plasmas fluorados em reatores RIE e HCRIE para corrosão de silício.

Referência de acordo com a norma Chicago

Tezani, Leandro Leite. Caracterização De Plasmas Fluorados Em Reatores RIE E HCRIE Para Corrosão De Silício. 2015.

Referência de acordo com a norma MLA

Tezani, Leandro Leite. Caracterização De Plasmas Fluorados Em Reatores RIE E HCRIE Para Corrosão De Silício. 2015.

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