Murakami, G. E. (2007). Estudos em plasmas gerados em sistema magnetron para deposição de nitreto de alumínio em baixa temperatura.
Referência de acordo com a norma ChicagoMurakami, Gilberto Eiiti. Estudos Em Plasmas Gerados Em Sistema Magnetron Para Deposição De Nitreto De Alumínio Em Baixa Temperatura. 2007.
Referência de acordo com a norma MLAMurakami, Gilberto Eiiti. Estudos Em Plasmas Gerados Em Sistema Magnetron Para Deposição De Nitreto De Alumínio Em Baixa Temperatura. 2007.
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